設備寿命を長期化する半導体設備向けの研削加工の紹介

現在の世界的な半導体不足の影響によって、半導体製造装置の需要も
増加しています。半導体製造装置では、傷1つない半導体を製造するために、
精度や耐久性も求められます。

そのため、半導体製造装置の部品の多くは難削材であり、また貴重であるので
部品の交換がなかなか難しい状況にあります。

そこで研削加工により難削材でも高精度で加工し寸法精度が向上することで
摩耗が減少し、部品の劣化防止になります。
加工方法を見直して研削加工により設備寿命を長期化しませんか？

【研削加工によって得られる効果】
■設備寿命UP
・対象部を研削することで寸法精度が向上
・表面が滑らかになることで余計な摩耗を抑える事ができ、
　設備寿命向上につながる
■寸法精度の高い加工
・加工あたりの除去量がわずかであるため、難削材でも高精度で加工が可能
・研削盤の使用により、マイクロメートルのオーダーで表面を加工が可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）