株式会社ハイブリッジ東京営業所
最終更新日：2023-07-13 10:40:42.0
小型真空蒸着装置『HVE-100』
小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現！】
『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで
設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置（デポアップ）です。
シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。
【特長】
■高真空排気系：<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能
■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置
■省スペース/小型化：W500×D395mmサイズで卓上型
■お手持ちの排気系、膜厚計を取付可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）
取扱会社 小型真空蒸着装置『HVE-100』
■真空機器・装置の設計・製作・販売及びコーディネイト ■理化学機器・装置の設計・製作・販売及びコーディネイト ■光学機器の設計・製作・販売及びコーディネイト ■除振・防振機器の設計・製作・販売及びコーディネイト ■機械加工部品・特殊材料加工の設計・製作 ■真空コンポーネントの販売 ■各種真空・理化学機器の移設作業及びメンテナンス
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