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最終更新日:2023-02-07 17:59:51.0

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トルンプのエレクトロニクス TruPlasma Highpulse 4000 (G2) シリーズ

基本情報トルンプのエレクトロニクス TruPlasma Highpulse 4000 (G2) シリーズ

数マイクロ秒でのフォーミング、長年にわたる耐久性

TruPlasma Highpulse 4000 (G2)シリーズの電力供給装置は、高出力インパルスマグネトロンスパッタリング向けに専用設計されています。硬く均質で滑らかなコーティングは、機能的にも装飾的にも最適です。TruPlasma Highpulse 4000(G2)シリーズが生み出す独特なイオン特性は、金属イオンエッチング(スパッタリング前処理)や半導体用途(トレンチ充填)にも利用できます。

【主な利点】
■ 飛沫フリーのスパッタリング、薄膜の不具合の低減
■ コンパクトな寸法、容易なシステム統合
■ 既存の陰極およびプロセス要件に簡単に適応可能

細かい仕様についてはカタログをダウンロードいただきご覧ください。

(関連ワード:プラズマ放電,DC電源,直流,金属イオンエッチング,コーティング,薄膜,スパッタ,アークエネルギー,ジェネレータ)

TruPlasma Highpulse 4000(G2)シリーズ

TruPlasma Highpulse 4000(G2)シリーズ 製品画像

『TruPlasma Highpulse 4000(G2)シリーズ』は、高出力インパルス
マグネトロンスパッタリング向けに専用設計された電力供給装置です。

硬く均質で滑らかなコーティングは、機能的にも装飾的にも好適。

当製品が生み出す独特なイオン特性は、金属イオンエッチング
(スパッタリング前処理)や半導体用途(トレンチ充填)にも
利用できます。

【主な利点】
■飛沫フリーのスパッタリング、薄膜の不具合の低減
■コンパクトな寸法、容易なシステム統合
■既存の陰極およびプロセス要件に簡単に適応可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 (詳細を見る

取扱会社 トルンプのエレクトロニクス TruPlasma Highpulse 4000 (G2) シリーズ

トルンプ株式会社

【取扱製品】 ■板金加工機(2Dレーザ切断、パンチ・レーザ複合、プレスブレーキ等) ■レーザ発振器(ディスクレーザ、ファイバーレーザ、半導体レーザ、超短パルスレーザ、グリーンレーザ等) ■エレクトロニクス(DC・DCパルス・HiPIMS用プラズマ電源、MFプラズマ電源、RFプラズマ電源、IH電源等) ■金属3Dプリンティング ■ソフトウエア ■サービス

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