【測定事例集】レンズ（光学部品）編 2023：光学式 3D表面形状測定機『Marsurf CP/CL・CM』測定事例集

【OPIE’23にて製品紹介予定！ @パシフィコ横浜 2023年4月19日~21日】

＜光学産業のアプリケーション例＞
■マイクロレンズアレイの幾何形状
■ウエハーレベルレンズの寸法・体積測定
　→ 測定時間：1レンズに付き4秒
　→測定物設置後は全自動測定＆全自動評価
■車載用 LiDAR のマイクロレンズの面精度（PV、RMS）

＜特長＞
◆粗さ（ISO 4287、13565、25178）、トポグラフィー、
　輪郭／形状、細孔、粒子分析、欠陥検出
◆ナノ単位の3Dデータ取得が最短7秒
◆鏡面仕上げのワークや全数検査も高速測定
◆振動に強く、白色干渉計では測定が難しい環境にも対応 （詳細を見る）

【OPIE’23にて製品紹介予定！ @パシフィコ横浜 2023年4月19日~21日】

＜光学産業のアプリケーション例＞
■マイクロレンズアレイ（幾何形状）
■マイクロレンズ（設計図に対する形状検査）
■非球面マイクロレンズ（マスターとレプリカの比較）他

＜特長＞
光学式 3D表面形状測定機『Marsurf CP/CL』は
クロマチックセンサーを用いた非接触測定機です。
表面粗さ・輪郭・真直度・断面積・平坦度・体積などの測定に対応。
往復移動時の双方向スキャンによって高速な測定を実現。

高速！100mm×100mmの測定時間、約1分。
高分解能！Z方向0.02μｍ、X方向1μｍ。
 （詳細を見る）

『Marsurf CP/CL』は、2D/3D形状測定が可能なセンサー型測定機です。
大型部品のミクロン単位のキズを高速で検知可能なほか、製品の合否を
自動判定できます。

サンプル測定を承っております。是非お問い合わせください。

【特長】
■大型部品のミクロン単位のキズを高速で検知
■100mm x 100mmの測定を約1分で完了
■製品の合否を自動判定
■測定項目：形状、輪郭、真直度、平坦度、体積／キズ
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
※日本語版カタログ／測定事例集をダウンロードいただけます。
※PDFダウンロード時に表示される『興味を持ったきっかけ』の欄は株式会社イプロスのAIによって表示されております。 （詳細を見る）

大型の測定物、移動が困難なワークの測定でお困りではありませんか？

➡モバイル型のコンフォーカル顕微鏡『MarSurf CM mobile』なら、
　サンプルを切り出すことなく、直置きで高精度な表面測定が可能です。


■可能性は無限大■
例えば、車体などの塗装面、アスファルト表面、金属ローラー、シートメタル…。
動かせない測定物や大型のワークに直置きして測定します。

➡サンプルの準備から測定までにかかっていた時間と手間を大幅に削減。
　製造現場で手軽に負担なく、高速・高精度な測定が可能です。


●本体重量わずか5kg
　コンパクトサイズながら、
　わずか数秒で測定室と同様の高解像度3Dデータを取得します。

●様々な用途に対応
　粗さ、輪郭、形状、体積、平面度 他

●従来比 約７倍の測定スピード
　コンフォ―カルマルチピンホール技術（CMP）を採用。
　従来の共焦点顕微鏡の約７倍の速さで測定。

●接触式測定法と99％の相関性
　アメリカ国立標準技術研究所（NIST）規格SRM2460による測定結果より、
　接触式と当機種の測定結果の相関性＝99％ （詳細を見る）

＜粗さ、輪郭、形状、体積、平面度他の測定に＞
ポータブル型 粗さ測定機『MarSurf CM mobile コンフォーカル顕微鏡』
コンパクトサイズながら、わずか数秒で測定室と同等の高解像度3Dデータを取得

<特長・導入メリット>
『ポータブル型で持ち運びが容易』
　●大型のワークや移動できない測定物もその場で手軽に測定
　●カットサンプルの用意が不要で、製品の形状を保持
　●セッティングにかかる手間・時間を大幅に削減
『高速・高精度』
　●ナノ単位の3Dデータの取得が最短7秒
　●鏡面仕上げのワークの測定や、全数検査もスピーディー
　●振動に強く、白色干渉計では測定が難しい環境にも対応

＜実績例＞
※粗さ、輪郭、形状、体積、平面度他
　●半導体製造用 CMPパッド（粒子測定）
　●車体などの塗装面　●タイヤ　●アスファルト表面
　●金属ローラー　●シートメタル
　●印刷用ロール

■ PDFダウンロードより測定事例／資料進呈 ■ デモ・サンプル測定実施中(オンライン可)◆ （詳細を見る）