コーターデベロッパ用空調ユニット SA-30r7

空調機にとって心臓部となる圧縮機は、装置稼働後10年を超えると故障率が上がります。
また、旧世代装置の部品の多くは、既に生産中止となっているため、修理に多大な費用が発生します。さらに、稼働を再開するまで、長期のダウンタイムが発生。

これらの問題を、事前の新モデル入れ替えで解消！
安定した生産を維持していくため、新世代空調機への入れ替えは欠かせません。

【特長】
▶ 部品調達や修理が困難な空調ユニットの代替に最適。
▶ 老朽化によるMTBF（平均故障間隔）の悪化や、
メンテナンスコストの増大を一気に解消。
▶ 特定フロンや指定フロンを使用している空調ユニットを、
オゾン層破壊係数「ゼロ」の代替フロン使用の空調ユニットに入れ替え、
環境の保護に貢献。
▶ 冷媒機にインバーター圧縮機を採用し、省エネ化を実現。

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

新技術 “ヒートポンプダイナミクス” は、ヒートポンプ技術による外気の熱回収に加え、
独自技術によって装置内排熱の回収とマージを行い、
強力な熱パックを生成。
冷却器、加熱器、加湿用加熱器でフル活用します。

中・大型空調では必須の別置熱源機＜冷凍機・ボイラー・電気ヒーター＞が不要となり、
電力使用量・ランニングコストを削減。

2050年カーボンニュートラルへ向けて、空調システムによる環境への配慮が進められます。

【特長】
■従来システムと比べ最大80％の電力使用量・ランニングコストを削減可能（当社試算）。
■空調機モデルの組み合わせで、さまざまな対象エリアを柔軟にシステム構成。小規模エリア対応のモデルも用意。
■ボイラーレスによる脱化石化燃料、そして直接のCO2排出の低減で、グリーン環境への配慮が促進。
■高精度な温湿度管理を実現する精密空調。
■中型モデルでは、クリーンブースとの連携でさまざまなシーンで活用。

※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。 （詳細を見る）

ホットプレートの性能は、フォトリソグラフィープロセスの精度を決める重要なファクターです。

特に、膜厚・線幅・膜質の高い均一性が要求される先端プロセスや、
温度依存性の高い材料でのプロセス開発においては、
ホットプレートの性能が、プロセスパフォーマンスを見極める大きな要因となります。

タイマー制御のピンアップ機構により、正確な時間管理を実現。
ウェーハ間の均一な熱処理を可能にしました。

標準250℃モデルに加え、高温350℃モデルもご用意。
また、処理前後に均一な冷却が必要な場合は、卓上クールプレートも
ご利用いただけます。

【特長】
■高精度な面内温度均一性。
■タイマー制御により、ウェーハ間差を低減。
■3～8インチに対応。
■プロキシミティーボールにより、均一なギャップを確保。
■高温350℃モデルには、火傷防止カバーを装備。
■空冷・水冷の卓上クールプレートもご利用可能。

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