株式会社渡辺商行
最終更新日：2023-03-22 15:05:50.0
石英管洗浄装置(HTC/VTCシリーズ) カタログ
基本情報石英管洗浄装置(HTC/VTCシリーズ) カタログ
縦型洗浄装置(VTCシリーズ)は省スペースで「薬液・純水削減」に貢献。世界トップクラスの納入実績(400台以上)
「HTC／VTC」シリーズは、拡散工程・CVD工程・アニール工程で使用される石英管の洗浄を目的とした装置です。
6, 8, 12インチ プロセス用の石英管に対応しており、石英管の形状・洗浄用途に合わせ、横型式(HTC)と縦型式(VTC)の装置ラインナップを揃えております。
特に縦型式(VTC)についてはターンテーブ回転機構付きシャワーノズル循環フィルタリング方式を採用しており、省スペースで「薬液・純水削減」に貢献します。
国内外 半導体デバイスメーカー/シリコンウエハメーカーへ世界トップクラスの納入実績(400台以上)があり、御客様のニーズにあった最適な提案をさせていただきます。
※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
石英管洗浄装置(HTC/VTCシリーズ)「薬液、純水削減に貢献」
「HTC／VTC」シリーズは、拡散工程・CVD工程・アニール工程で使用される石英管の洗浄を目的とした石英管洗浄装置です。
【特徴】
■石英管の形状・洗浄用途に合わせた装置ラインナップ
・6インチ・８インチ・１２インチ プロセス用の石英管に対応致
・石英管の形状・洗浄用途に合わせ、横型式(HTC)と縦型式(VTC)の装置を選択可能
■省スペースで「薬液・純水削減」に貢献
・縦型式(VTCシリーズ)は、省スペースで「薬液・純水削減」に貢献
■カスタマイズ対応可能
■世界トップクラスの納入実績(400台以上)
・国内外 半導体デバイスメーカー/シリコンウエハメーカーへ世界トップクラスの
納入実績(400台以上)あり
■豊富な関連装置の取り扱い経験
・石英ボート洗浄装置、石英パーツ洗浄装置、石英保管庫、石英搬送台車等の関連装置の
取扱いも多数あり
※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。 （詳細を見る）
取扱会社 石英管洗浄装置(HTC/VTCシリーズ) カタログ
【関連製造部門】 ●(株)ワコム製作所 石英ガラス製品（ASM Epsilion石英部品、各種加工品）、シリコーンゴム製品、半導体装置用部品、ラッピング・ポリッシング用キャリア ●(株)トムコ ウエハ移換機、IPA蒸気乾燥装置、部品再生洗浄、部品加工 ●(株)天谷製作所 常圧CVD装置、MO-CVD装置、フォトマスク洗浄装置 【環境関連】 ソーラ用Siウエハ、セパレーター＆クリーニングシステム、ワイヤーソークーラント回収システム、酸化セリウム回収システム、スラリーリサイクルシステム、IPAリサイクルシステム、水質分析計、無機系凝集剤オイルフロック 【素材・部品関連】 コバレントマテリアル(株)製品 (石英ガラス、SiC、カーボン)、ファインセラミックス、マシナブルセラミックス、各種フィルター、その他半導体装置用消耗部品、シリコーン樹脂、耐火物、各種ヒーター関連
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