BS series 研究開発用 電子ビーム蒸着装置

日本電子株式会社 BS series 研究開発用 電子ビーム蒸着装置は、研究開発や少量生産に適した蒸着装置です。
様々なオプション機器が搭載可能で、チャンバー形状やロードロック等、ご要望に合わせて制作します。

〇特長
・蒸着源は、電子ビーム蒸着源（電子銃）、ボンバード蒸着源、抵抗加熱蒸着源を選択でき、任意に組み合わせて複数台搭載することが可能。
・電子銃＋反射電子トラップ、またはボンバード蒸着減により、低温・低ダメージ蒸着が可能。特にレジストを用いるリフトオフ蒸着に有効。
・アルミの安定蒸着ができ、繰り返し使用できるライナーもご提供。

※詳細はPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。 （詳細を見る）