株式会社昭和真空
最終更新日:2023-04-04 11:13:24.0
インライン式高真空アニール装置 SAF-X1201
基本情報インライン式高真空アニール装置 SAF-X1201
インラインで水晶振動子の熱処理が可能な高真空アニール装置
本装置は、主に水晶振動子などの加工時に生ずる内部応力の歪みの除去、電極膜の安定化のために熱処理を行うインライン式真空熱処理装置です。
・仕込室、処理室、冷却室の3室からなり、トレイ仕込後、アニールから冷却まで全自動で行います。また、LD/ULDを接続することでライン化が可能になり、生産性の向上と省力化に貢献します。
・W220mm×D140mmトレイで約440秒(=約7分20秒)/枚のタクトタイムを実現しました。
・アニール工程のフルオートメーション化により、歩留向上に貢献します。
◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。
取扱会社 インライン式高真空アニール装置 SAF-X1201
【営業種目】 ○水晶デバイス用、光学薄膜用、電子デバイス用などの 総合的な真空関連装置並びに真空機器等 ○真空蒸着装置、スパッタリング装置、イオンプレーティング装置、 ドライエッチング・アッシング装置、真空冶金(溶解、熱処理、燒結、 脱ガス)装置、光学薄膜用モニター(多色式、単色式)、 IAD冷陰極イオンソース、液晶注入装置、有機EL用蒸着装置、その他
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