ピーアイ・ジャパン株式会社本社
最終更新日：2023-06-21 17:03:01.0
多軸開口付ピエゾステージ P-517~P-527
基本情報多軸開口付ピエゾステージ P-517~P-527
サブナノメートルの分解能！多軸ステージ
高い動作性をもつP-517およびP-527多軸ピエゾナノポジショニングステージは、XYθZ、XY、およびXYZの構成で、リニアストロークが最大200×200×20μm、回転レンジは最大4mradの範囲での位置決めが可能です。
66×66mmのセンター開口部は光透過式アプリケーションに最適です。同じサイズのZ/チップ/チルトバージョンとして、モデルP-518、P-528、およびP-558が有り、また、最大6軸のステージ製品があります。
この製品の利用用途
・メトロロジー
・干渉計
・光学
・リソグラフィ
・ナノポジショニング
・走査型顕微鏡
・マスストレージ装置試験
・レーザーテクノロジー
・マイクロ機械加工
※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
P-517・P-527多軸ピエゾスキャナ
高い動作性をもつP-517およびP-527多軸ピエゾナノポジショニングステージは、
XYθZ、XY、およびXYZの構成で、リニアストロークが最大4mradの範囲での位置決めが可能です。
【特徴】
○2軸および3軸バージョン（XYおよびXYθZ）
○ストローク～200μm
○サブナノメートルの分解能
○摩擦のない高精密フレクシャガイドシステム
○静電容量センサーによる高いリニアリティ
○パラレル制御／計測構造による応答性の向上／多軸の精密制御
○センター開口部 66 x 66mm
○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命
●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。 （詳細を見る）
取扱会社 多軸開口付ピエゾステージ P-517~P-527
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