MA-4301M(Maxφ8)

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Ø200mm 対応露光装置

【主な特長】
・独自の高速画像処理技術でウェハとマスクを高精度にアライメント
・ローダ、アンローダ側にカセットを各２個までセット可能（オプション）
・冷却機構により基板ステージとマスクの温度管理が可能（オプション）
・独自のミラー光学系ランプハウスを搭載。照射面内均一性、高照度を実現
・非接触プリアライナを搭載。基板を傷つけることなく高精度な送り込みを実現
・オートマスクチェンジャを搭載。マスクライブラリ対応可能（詳細を見る）

取扱会社 MA-4301M(Maxφ8)

株式会社大日本科研

○精密機器の設計・製作・販売 ○理化学機器、計測器、光学機器の設計・製作・販売 ○各種露光装置の設計・製作・販売

公式サイト

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