株式会社真空デバイス
最終更新日：2023-07-12 10:37:00.0
ＶＥ－２０１３卓上型高真空蒸着装置VE-2013_01
基本情報ＶＥ－２０１３卓上型高真空蒸着装置
デスクトップ型の真空蒸着装置。 TMP＋RPの排気系により清浄高真空で蒸着可能。
ヒーター電極 ： 1対（2対タイプはオプション。）
蒸着対象金属 ：金・アルミ・クロム・銀・カーボン その他
試料ステージ ： 直径72mm
蒸着源－試料間隔 ： 0mm～140mm
チャンバーサイズ ： 内径160mmｘ深さ235mm
電極間電圧／電流 ： AC15Ｖ、 0～30A タッチパネル表示
排気系：TMP67 ℓ／sec ＋RP 50ℓ／min
真空度測定 ： タッチパネル表示 フルレンジ真空計
到達真空度：5×10-4 Pa 以下
安全対策 ：系統別サーキットプロテクタ、過剰負荷を自動でブロック
装置サイズ ： W428× D430 × H550 (mm) 38Kg
電源 ： 単層AC 100 V, 15A アース線付３芯プラグ使用
卓上型高真空蒸着装置ＶＥ－２０１３
★ VE-2013はVE-2030（弊社製）のコンセプトを継承した簡易型真空蒸着装置です。
★ TMPを筐体内に内蔵したコンパクトな筐体を実現。デスクトップ型なので設置場所を取りません（RPは床置き）。
★ 小型TMP＋RPの排気系により清浄高真空の蒸着装置を低価格で提供。
★ 排気操作はタッチパネルスイッチのON／OFFのみで全自動制御。
★ タングステンバスケットの使用で金・アルミニウム・クロム・銀などの蒸着が出来ます。
★ カーボン蒸着はφ0.5mmの専用カーボンを蒸着するクランプ蒸着銃タイプを使用。
（φ5mmカーボンロッドは使用出来ません。）
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取扱会社 ＶＥ－２０１３卓上型高真空蒸着装置
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