THKプレシジョン株式会社
最終更新日：2023-07-25 09:08:07.0
『ピエゾステージとピエゾモータステージ 比較資料』
『超精密ピエゾステージ／精密ピエゾモータステージ』
製品の微細化が進む半導体分野やシリコンフォトニクス等の光学分野において
位置決め精度への要求はますます高まっていますが、ナノメートルオーダーの
超精密位置決めの実現には、機構と制御のマッチが不可欠です。
当社は、超精密位置決めに適した製品『ピエゾステージ』の専門メーカーとして
20年以上の実績があり、カタログ規格品を豊富にラインアップしています。
さらに、カスタム設計にも積極的に対応しており、
規格品からでは選定が難しい場合にも用途に合った製品を提供可能です。
【ラインアップ】
＜超精密ピエゾステージ＞
■800μm以下の微小な領域において最高1nmの分解能と高速応答の超精密位置制御が可能
■ミラー用チルトや対物フォーカス用など種類が豊富
＜精密ピエゾモータステージ＞
■25mmまでの移動量において±20nmの繰り返し再現性で信頼性の高い位置制御を実現
■電源オフの状態でもセルフロッキングにより位置を保持
※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。 （詳細を見る）
取扱会社 『ピエゾステージとピエゾモータステージ 比較資料』
圧電アクチュエータを主な駆動源としたナノメートルの超精密位置決めユニットの専門メーカーとして、半導体や液晶、超精密加工、光ピックアップ、プローブ顕微鏡、光デバイスなど、検査・測定から製造装置にいたるまで様々な用途で要求されるナノメートルからサブミクロンの精密位置決めのご要望にお応えします。 また、μN～mNレベルの微小な力を検知測定するフォースセンサも製造・販売しています。 カタログ標準品だけでなく、個別仕様に合わせたカスタマイズにも短納期で対応可能です。
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