3次元X線CTシステム EVA-160

当社が取り扱う、3次元X線CTシステム『EVA-160』をご紹介します。

当製品は、新型プラットフォームと新画像処理の組み合わせ、
広視野でなめらか、大型基板にも対応できるモデルです。

標準仕様では、フラットパネルディテクタをはじめ、可視光マッピング機能や
フォーカス自動調整機能などを搭載しており、オプションにて、
3次元斜めCT機能、直交CTユニット：Prestoをご用意しております。

【標準仕様】
■フラットパネルディテクタ
■ユーセントリック機能
■大型ステージ搭載（500mmサイズ対応）
■可視光マッピング機能
■フォーカス自動調整機能

※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『3DCTシリーズ』は、独自技術のユーセントリック(着目中心回転)機能により、
着目したポイントを“ミクロの眼”さらには“ナノの眼”で、360度方向からの
透視観察と高倍率CT撮影を行うことが出来る3次元X線CTシステムです。

超高倍率(2,000倍)、ナノオーダーのフォーカスサイズ(250／800nm)を実現した
超高分解能モデル「XVA-160αII」をはじめ、スタンダードモデル「XVA-160R」、
ワイドレンジモデル「Si-230／300」などをラインアップ。

小型化・高密度化・多層化する高機能な電子部品を、高精度に非破壊解析する
ために数多く採用されています。

【XVA-160αII”Z”特長】
超高倍率（2,000倍）、ナノオーダーサイズ（250/800nm）を
実現した、超高分解能モデルです。

指紋センサーの透過像や断層像、エレクトロマイグレーションの断層像
などの撮影事例があり、ユーセントリック機能をはじめ、光軸・回転中心・
フォーカス自動調整機能など多数の機能を搭載しています。

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）