TETRAスリック(水素フリーDLC)

ESD対策専用DLC コーティング『THORスリック』は、帯電によって起こるダスト等吸着による生産性低下
などの不具合対策に活用できる製品です。

低温処理で高い被膜密着性と低発塵性。色調は黒色で、耐摩耗性や耐食性、
耐焼付性を有しています。

半導体製造前工程のウエハホルダやウエハ搬送アーム、吸着ステージなど
幅広い用途でご使用いただけます。

【特長】
■低温処理で高い被膜密着性と低発塵性
■緩やかなESD放電曲線
■表面抵抗値別製品をラインアップ
■耐摩耗性・耐焼付性・耐食性を有する

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『Neo-スリック』はDLC膜の高硬度はそのまま、密着性と耐久性などを高め、基材の長寿命化を実現するコーティング技術です。

アルミや真鍮などの非鉄金属や、セラミックなどの基材にも対応し、
機械部品や切削工具、金型などにおすすめです。しかも量産性に優れます。

【基本被膜特性】
色調：黒色
被膜硬度：2,500～3,000Hv
摩擦係数：0.15～0.20
膜厚：1.0～3.0μm
対応サイズ：φ950×850Lmm

※詳しくはカタログをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。 （詳細を見る）

日本コーティングセンター株式会社で取り扱う『TETRAスリック』
についてご紹介いたします。

当製品は、高硬度で高い耐摩耗性であり、精度の厳しい品物に有効な
薄膜仕様。

また、アルミニウム、チタン等難加工材用切削工具や、極細ドリル、
精密金型などに用いることができます。

【特長】
■高硬度で高い耐摩耗性
■精度の厳しい品物に有効な薄膜仕様
■優れた密着性で長寿命化
■ta-C被膜特有の耐熱特性

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

水素フリーDLC（ta-C）『TETRAスリック』は、
高硬度で優れた耐摩耗性を実現するコーティングです。

薄膜仕様のため、厳しい精度が求められる加工物に適しています。
高い密着性で長寿命化が実現できるほか、耐熱特性に優れているのも特長です。

【用途例】
■アルミニウムやチタン等の難加工材用切削工具・極細ドリルなど
■精密金型（半導体封止モールド用金型・レンズ成形・曲げ型・樹脂など）
■コネクター製造用の精密抜き・曲げパンチ＆ダイ

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