油拡散ポンプ用省電力ユニット　ECO-22/26

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基本情報油拡散ポンプ用省電力ユニット　ECO-22/26

環境対策,電気代節減に!

昭和真空製22、26インチ油拡散ポンプ（SFD-22B/C、26B/C）の省電力ユニットを開発。簡単に取り付け可能な省電力ユニットと断熱ジャケットのセットにより、排気性能を実用上低下させず環境対策、電気代節減のお役に立ちます。

取扱会社油拡散ポンプ用省電力ユニット　ECO-22/26

【営業種目】 ○水晶デバイス用、光学薄膜用、電子デバイス用などの　総合的な真空関連装置並びに真空機器等 ○真空蒸着装置、スパッタリング装置、イオンプレーティング装置、　ドライエッチング・アッシング装置、真空冶金（溶解、熱処理、燒結、　脱ガス）装置、光学薄膜用モニター（多色式、単色式）、　IAD冷陰極イオンソース、液晶注入装置、有機EL用蒸着装置、その他

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