真空蒸着装置　Mega-Sapio 1700

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基本情報真空蒸着装置　Mega-Sapio 1700

生産量UPを追及して1台で2台分の生産を実現

従来のSapio 1700から排気工程の短縮、成膜工程の短縮、ベント工程の短縮、装置の安定稼働、これら4つを実現しました。制御系にはワイヤレスモニターを採用し高精度なプロセスコントロールを行えます。設置面積は従来のSapio 1700と変わらず生産量2倍の量産機です。

取扱会社真空蒸着装置　Mega-Sapio 1700

株式会社昭和真空

【営業種目】 ○水晶デバイス用、光学薄膜用、電子デバイス用などの　総合的な真空関連装置並びに真空機器等 ○真空蒸着装置、スパッタリング装置、イオンプレーティング装置、　ドライエッチング・アッシング装置、真空冶金（溶解、熱処理、燒結、　脱ガス）装置、光学薄膜用モニター（多色式、単色式）、　IAD冷陰極イオンソース、液晶注入装置、有機EL用蒸着装置、その他

公式サイト

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