株式会社昭和真空
最終更新日:2024-02-15 16:22:35.0
スパッタリングとは
基本情報スパッタリングとは
スパッタリングについての基礎知識
真空技術を応用した主な成膜方法として蒸着・スパッタリングが挙げられま
す。今回は、スパッタリングに特化してスパッタリングの原理・用途等を説明
していきます。
取扱会社 スパッタリングとは
【営業種目】 ○水晶デバイス用、光学薄膜用、電子デバイス用などの 総合的な真空関連装置並びに真空機器等 ○真空蒸着装置、スパッタリング装置、イオンプレーティング装置、 ドライエッチング・アッシング装置、真空冶金(溶解、熱処理、燒結、 脱ガス)装置、光学薄膜用モニター(多色式、単色式)、 IAD冷陰極イオンソース、液晶注入装置、有機EL用蒸着装置、その他
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