真空の基礎

株式会社昭和真空

【営業種目】 ○水晶デバイス用、光学薄膜用、電子デバイス用などの 　総合的な真空関連装置並びに真空機器等 ○真空蒸着装置、スパッタリング装置、イオンプレーティング装置、 　ドライエッチング・アッシング装置、真空冶金（溶解、熱処理、燒結、 　脱ガス）装置、光学薄膜用モニター（多色式、単色式）、 　IAD冷陰極イオンソース、液晶注入装置、有機EL用蒸着装置、その他