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拡張欠陥も測定可能！スペクトル線分析ができるSemiScope
『SemiScope PLIS-TEC』は、PLによる結晶欠陥の研究において 画期的な測定装置です。 PLイメージング画像で選択した線分において、その線分を1000点に分割した 各スペクトル…
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フォトルミネッセンス(PL)イメージング法を用いたSiC半導体評価装置
「SemiScope」は、1μｍ以下の分解能でフォトルミネッセンス(PL)画像を測定することができるPLイメージング装置です。 試料を移動させながらイメージング測定を行うタイリング機能を用いることで…
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