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詳細なカスタマイズが可能！高アスペクト比の三次元構造に対して均一な成膜
『TFALD-201』は、昇華原料に対応した研究開発用ALDシステムです。 金属酸化物、貴金属、複合金属膜の成膜に対応。 また、様々な原料や反応ガスの圧力に応じて、適したガス供給ユニットを…
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原料容器、バルブ、配管、ヒーター等をユニット化！2種類の原料容器を選択可能
『TF-ALDシリーズ』は、東北大学における先端融合領域イノベーション 創出拠点形成プログラムの研究成果をもとに製品化した昇華原料対応の ALDユニットです。 4chの温調と最大2個の高耐久…
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幅広い溶剤に使えるオールフッ素樹脂製
φ2～φ8インチの各種サイズに適用する縦置きウエハー洗浄治具。すべてフッ素樹脂(PTFE)製のため、酸・アルカリ問わず幅広い溶剤に使用できます。ワークサイズ、セット数の変更、持ち手長の変更など特注仕様…
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幅広い溶剤に使えるオールフッ素樹脂製
φ2～φ8インチの各種サイズに適用する縦置きウエハー洗浄治具。すべてフッ素樹脂(PTFE)製のため、酸・アルカリ問わず幅広い溶剤に使用できます。ワークサイズ、セット数の変更、持ち手長の変更など特注仕様…
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卓上設置が可能な基板乾燥機
遠心力を利用し、シリコンウェハなど基板状ワークの乾燥処理をおこないます。卓上に設置可能であり、すべての機種の電源はコンセント供給となりますので、設置にともなう追加の電気工事は必要ありません。20mm角…
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