卓上型スピンドライヤーテクノファイン

卓上設置が可能な基板乾燥機

遠心力を利用し、シリコンウェハなど基板状ワークの乾燥処理をおこないます。卓上に設置可能であり、すべての機種の電源はコンセント供給となりますので、設置にともなう追加の電気工事は必要ありません。20mm角基板から6インチウェハまで、各サイズのラインナップを取り揃えております。

○テーブル材質：フッ素樹脂（PTFE)
○対応サイズ：20ｍｍ角基板／φ3インチ／φ4インチ／φ6インチ
○最大回転数：3500prm　※機種により異なります。
○入力電源：AC100V（50/60Hz）

型番	概要
SD-20S	●20ミリ角基板対応　●最大回転数3500rpm　●手動調整による無段階制御　●外形寸法（W160/D180/H150）
SD-20SE	●20ミリ角基板対応　●最大回転数4000rpm（31段階）●停止タイマー（最大60分）●外形寸法（W170/D180/H160）
SD-20SR	●20ミリ角基板対応　●最大回転数4000rpm（8段階）●停止タイマー（12段階）●外形寸法（W170/D180/H160）
SD-300	●φ3インチ対応　●最大回転数3000rpm　●停止タイマー　●開閉停止機能　●レシピ記録（5種）●　2か国語対応（日本語/英語）●外形寸法（W380/D380/H435）
SD-300CS	◎コントローラ分離型●φ3インチ対応　●最大回転数3000rpm　●停止タイマー　●開閉停止機能　●レシピ記録（5種）●外形寸法（本体：W380/D400/H430）
SD-400	●φ4インチ対応　●最大回転数3000rpm　●停止タイマー　●開閉停止機能　●レシピ記録（5種）●外形寸法（本体：W430/D430/H430）
SD-600	●φ6インチ対応　●最大回転数1500rpm　●停止タイマー　●開閉停止機能　●レシピ記録（5種）●カバーロック機能●外形寸法（本体：W695/D600/H542）