ネクス株式会社

有機溶剤ディップコーティング（防爆仕様）

防爆仕様。Ｒ＆Ｄ開発用。

用途　有機溶剤ディップコーティング 機能性フィルム・ウエハ・光学レンズ・精密部品の多目的処理 ＤＩＰ処理装置とセットで納入 LD・有機処理槽・ULD 自動搬送ロボット・単独搖動 ストロークM…

ナノスプレーコーター

薄膜コート。保護膜。ＭＥＭＳ凹凸（トレンチ）コート。

〈ナノスプレーコーター〉 ・防爆仕様 ・塗布液：有機溶剤、レジスト、インク剤、塗装剤。 ・基板サイズ：２００ｍｍ□（ＭＡＸ） ・ノズル：フラット散水型、フルコーン式、回転ノズル(ノズル交換可…

ディップコーター

精密ＤＩＰコーター。開発機～量産機まで対応。

〈ディップコーター〉 ・光学レンズ・シリコンウエハー・ガラス基材を両面コートする開発向け設備 ・基材サイズ：Φ２５ｍｍ～３７０×４７０ｍｍ ・上下、撹拌搬送駆動 ・左右搬送駆動 ・処理槽内薬…

Ｒ＆Ｄ向け小型スリットコーター

低粘度～高粘度まで対応可能。１～１０，０００ｃｐｓ。 レジスト、ポリイミド、保護膜、硬化樹脂剤。基板サイズ：４００×５００ｍｍ

〈精密スリットコーター〉 　・搬送駆動：リニアモーター・リニアガイド・サーボモーター 　・塗布供給方式：シリンジポンプ（独自の社内開発品） 　・精密ステージ：石定盤（平坦度：10μｍ以下） 　…

コンパクト卓上スピンコーター（最小・最軽量クラス）

Ｒ＆Ｄ小型卓上スピンコーター。 ＭＡＸ２インチ用軽量コーター。真空ポンプ本体内蔵。機械・装置設定は、簡易操作。

・小型卓上スピンコーター　（型式：labo-coat-2） ・安価な価格設定、コンパクト設計　 ・持ち運びが便利な軽量ハンディータイプ　 ・基板吸着テーブル：材質 デルリン ＊本体標準付…

小型卓上スピンコーター

【最小・最軽量クラス・簡単操作設定】 出張や移動に最適な軽量ハンディータイプで持ち運び簡単。 本体重量：３．3Kg

・R＆D向け 小型卓上スピンコーター ・安価な価格設定、コンパクト設計　 ・持ち運びが便利な軽量ハンディータイプ　 ・基板吸着テーブル：材質デルリン 　※吸着テーブルは、本体標準装備品。…