薄膜コート。保護膜。ＭＥＭＳ凹凸（トレンチ）コート。
〈ナノスプレーコーター〉
・防爆仕様
・塗布液：有機溶剤、レジスト、インク剤、塗装剤。
・基板サイズ：２００ｍｍ□（ＭＡＸ）
・ノズル：フラット散水型、フルコーン式、回転ノズル(ノズル交換可能)
・ノズル圧力：0.5Ｍｐａ
・塗布膜厚：１～５µｍ
・膜厚精度：±３％
・ノズル：フラット散水型、フルコーン式、回転ノズル
基本情報ナノスプレーコーター
〈ナノスプレーコーター〉
・防爆仕様
・塗布液：有機溶剤、レジスト、インク剤、塗装剤。
・基板サイズ：２００ｍｍ□（ＭＡＸ）
・ノズル：フラット散水型、フルコーン式、回転ノズル(ノズル交換可能)
・ノズル圧力：0.5Ｍｐａ
・塗布膜厚：１～５µｍ
・膜厚精度：±３％
・ノズル：フラット散水型、フルコーン式、回転ノズル
| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ・大学、研究開発機関、産総研 ・素材、材料開発 ・精密部品・建築資材 ・飲料、食品 ・医薬品、バイオ ・自動車精密金型部品 ・化粧品 ・電子デバイス、半導体、液晶 |
取扱企業ナノスプレーコーター
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コーティング装置の企画・提案。 コーティング装置の製造販売。 １・2インチサイズのプロセス装置が大学、研究所、多業種でニーズが多く、 将来、コアになる開発・研究を行っているエンジニアの方々に、 特化したラボ装置を、開発・製作・販売していきたい。 今後は、塗布装置のほか関連設備として洗う。温める。 冷やす。加工する。をテーマに新規製品開発を開発中です。 １，エキシマUV（スポットタイプ） ２，DIP洗浄（超音波＋恒温槽処理） ３，HP/CP（乾燥・冷却システム） ４, 切断機（カット、ブレーク、貼り合わせ）
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