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チャンバーなどの半導体製造装置部材のコーティングに!シリカコート
金属に高純度シリカガラスをコーティング!酸化が抑えられ耐食性が向上!金属汚染を抑えられ先進プロセスでの製品品質・歩留まりが改善!
チャンバーなどの半導体製造装置部材のコーティングに実績が多数ある『シリカコート Quartzace』では、 基材は金属、樹脂、ゴム、生体など、様々な基材に対応でき、基材の特長を活かしたまま、表面のみ…
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