プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社 企業イメージ
当社は、プラズマ技術を応用したエッチング、成膜、切断装置に加え、
ICP, RIE, DSE, IBE, IBD, PECVD, HDPCVD, HDRF F.A.S.T.-ALD装置の販売、
並びに、当該装置に関するカスタマーサービスの提供しております。
米国フロリダ州に本社を構える、Plasma-Therm LLCは、1974年に設立。
設立以来、48年間プラズマ技術を応用した半導体製造装置の製造・販売を
行っています。
ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。
▼グループ会社Corial 公式サイト
https://corial.plasmatherm.com/en
■プラズマ技術を応用したエッチング、成膜、切断装置に加え、
ICP, RIE, DSE, IBE, IBD, PECVD, HDPCVD, HDRF F.A.S.T.-ALD装置の販売
■当該装置に関するカスタマーサービスの提供
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難しい材料、様々な基板形状、用途にも！非常に幅広い基板サイズに対応可能
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製品・サービス（17件）一覧
カタログ（12件）一覧
ニュース（9件）一覧
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2023-11-22 00:00:00.0
「SEMICON Japan 2023」開催期間（2023年12月13日～15日）中、セミナーをブースにて行います。詳細は、「プラズマ・サーモ・ジャパン～セミナー開催のお知らせ」をご確認ください。
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2023-11-15 00:00:00.0
「セミコン・ジャパン2023」が、12月13日（水）～15日（金）10:00~17:00、東京ビックサイトで開催されます。弊社のブースは、小間番号4135です。ブースにてセミナー開催も予定しております…
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2023-11-14 00:00:00.0
第43回ナノティングシンポジウム (NANOTS 2023)
第43回ナノティングシンポジウム (NANOTS 2023)では、プラズマ・エッチング装置を利用した故障解析装置をご紹介。RIEに加え、ICPを使い、等方性、異方性エッチング技術を使った、故障解析例を…
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