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イオナイザ管理を、スマートに！除電時間、イオンバランスの自動測定が可能！
『MP-1 MODEL 7100』は、イオナイザのメンテナンス用として ご使用頂けるチャージプレートモニターです。 イオナイザの「除電時間」「イオンバランス」を簡易的に 計測することができま…
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パルスエアー機能で除塵率の向上！作業性を考えた手の平サイズで握りやすい設計！
『MODEL 3080S』は、φ1.5mmの極小ノズルからエアーを高速で 吹き付けるため、微細塵の除去に適したペンタイプイオナイザです。 高圧異常を検知すると、高圧出力を遮断する安全回路を搭載…
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同時に5ヵ所の静電気測定が可能！測定レンジの切り替えで幅広い範囲に対応！
『MODEL 750/720-1』は、5個のセンサーを接続し、同時に5ヵ所の 静電気測定が可能なスタティックモニターです。 測定レンジの切り替えにより、測定範囲は±0Vから±50kVまで測定が…
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ゴミの付着防止のみならず、静電気に弱いデバイスを保護するDC式イオナイザバー
『MODEL 453S』は、ワークエリアの静電気コントロールにより静電気による ゴミの付着防止のみならず、静電気に弱いデバイスを保護する DC式イオナイザバーです。 バー寸法は300mm～2…
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0.01ミクロンのフィルターを搭載！クリーンなエアーで除電、除塵が可能！
『MODEL 307R』は、高圧異常を検知すると、高圧出力を遮断する 安全回路を搭載したクリーンジェットガンです。 エアー吹き出しノズルはワイドエリア用とスポットエリア用の 2種類を標準装備…
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クリーニングヘッドの進化が精密除塵・除電をさらにパワーアップ。
当カタログは、ワーク表面に付着したミクロン径の異物を 超音波振動エアーにより吸引・回収する非接触方式の洗浄システム 「超音波ドライクリーナー」などを掲載しています。 フラットパネル用の超音波…
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見やすい液晶画面、操作しやすいタッチパネル設計の測定器
『MP-1』は、イオナイザの性能測定・メンテナンス用としてご使用頂ける チャージプレートモニタ（CPM）です。 現在、使用されているイオナイザの「±除電時間⇒イオンバランス」を フルオートで…
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ウェハフィルムマウンティング装置 HS-7600/HS-7800
気泡無く貼り付け可能！パターン面非接触式も製作できます
『HS-7600/HS-7800』は、常にフィルムにテンションを掛けた状態で マウントする独自の構造により、ウェハとフィルム間に気泡を 入れる事なく、完璧なマウントを行ないます。 また、特殊…
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モーター駆動採用！無発塵でクリーンルームにも好適。
『HS-1810』は、長年に亘るノウハウの蓄積と多くの販売実績をもとに、 顧客の立場に立って開発されたウェハ拡張装置です。 使い易さ、精度、汎用性に優れるほか、モーター駆動の採用により 1m…
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近距離からクリンブースなどの遠距離までを幅広く除電！
『MODEL4100V』は、フレキシブルAC方式を採用したエアバーです。 新制御方式でイオンを発生し、周波数を切替える事により搬送中などの 近距離からクリンブースなどの遠距離までを幅広く除電し…
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放電針クリーニングのブラシ内蔵により、日々のメンテナンスを簡略化！
『MODEL1900』は、マイコン制御式オートコントロール機能付き イオン送風機です。 超薄型、小型設計による省スペース化を実現し、装置内などの 狭い場所への設置にも配慮したフリーレイアウト…
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磁気テープ、写真用フィルム等の表面に付着したダストを非接触法で完全に除去
超音波エアー式 基板ウェブクリーナー「USW-102（標準圧）」と 「USW-103（高圧力）」のご紹介です。 当システムは、クリーニングヘッド・PVブロワーユニット・HEPAフィルター・ …
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表面クリーニングなどに好適なスポットクリーナーのご紹介
「SPS-10（基板用）」は、有効長10～70mmまで対応可能な スポットクリーナーです。小型部品やセルのTAB付けリード部の除塵に好適。 「SPW-20（ウェブ用）」は、スリッター後のフィル…
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高品質・高スループット・省エネ！SEMI規格はもちろん、ULやCE規格にも準拠
『UPC-12500 SORA』は現代の半導体製造には不可欠な高品質・ 高スループット・省エネをコンセプトに改良された全自動FOUP洗浄システムです。 SEMI規格はもちろん、CE規格にも準拠…
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セミオートマチックダイソータ『System DE35-ST』
少量多品種の生産に好適！オペレータのスキルを必要としない操作性に優れた装置
『System DE35-ST』は、良品チップのトレー詰めを主に、 チップの外観検査、エポキシダイボンダー、フリップチップ及び表裏 検査(オプション)仕様等、汎用性に富んだセミオートマチックダイソ…
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様々なパッケージスタイルに対応することが可能！より容易なデータ管理を実現可能
『System650』は、ウインドウズベースのソフトウェア 「ボンドテストマネージャー」により容易なデータ管理を実現できる ユニバーサルボンドテスターです。 シェアテスト後の破断状況をモニタ…
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ハーフミラービューイングシステム！目的に合ったボンディングがヘッドの交換のみ
『MODEL860Eagle』は、フリップチップ、共晶、超音波、熱圧着、 エポキシボンディングと、目的に合ったボンディングがヘッドの交換を 行うだけで可能なユニバーサルダイボンダーです。 ハ…
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半導体・液晶いずれの分野の装置にも容易に搭載できます！
『PFA製インラインヒータ／PVDF製インラインヒータ』は、半導体・液晶 いずれの分野の装置にも容易に搭載可能な製品です。 小型でユースポイントの近くに設置可能。 使用条件に合わせて細かに製…
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豊富な納入実績を持つ超純水加熱装置の決定版。
『AQUARIUS CDIシリーズ』は、Teflon材またはPVDF材の インラインヒーターが内蔵された温水器です。 加熱前後での純度や比抵抗値は維持した温純水を供給します。 温純水の利用に…
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タンクで加熱する用途に、軽量・コンパクトなヒータ
『65／67シリーズ』は、純水や酸・アルカリ水溶液を加熱するための ヒーターです。 ヒーター加熱時の熱損失が最小限となるよう製造されています。 2000種類を超える豊富なバリエーションの中か…
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