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      業界別:半導体

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      信頼の高パフォーマンス、安定性、低所有コスト。Buschの真空ソリューションは、半導体産業のあらゆるアプリケーションに対応する
      信頼性の高い選択肢です。ロードロックチャンバーから、ナノ粒子合成のような過酷なプロセスまで対応可能です。当社は世界各地の
      半導体リーディングカンパニーに真空システムを提供しています。また、採用されたお客様には設備のオンサイトサービスも一括して
      お任せいただいています。

      半導体装置向けの真空ポンプから、サブファブ管理まで、当社の幅広い経験を お客様のプロセスにお役立てください。

      • ドライポンプ COBRA Semicon ファミリー 製品画像

        ドライポンプ COBRA Semicon ファミリー

        SEMICON Japan 2023に出展!ハーシュプロセスにおいて従来比2倍の耐久性を誇るドライポンプを実機展示!

        ★SEMICON JAPAN 2023に出展します★ 会期: 2023年12月13日(水)~15日(金) 会場: 東京ビッグサイト 東3ホール 小間番号 3736 【製品説明】 COBRA…

      • 多段ルーツ真空ポンプ TORRI ファミリー 製品画像

        多段ルーツ真空ポンプ TORRI ファミリー

        ロードロックチャンバーの排気向けの真空ポンプ。クラス最高レベルの排気速度を誇る製品です!

        【製品説明】 多段ルーツ真空ポンプのTORRIシリーズは、ロードロックチャンバーの排気のためのコンパクトでエネルギー効率に優れたソリューションです。 優れた到達真空度と最短クラスのチャンバーの排気…

      • 真空計 VACTEST 製品画像

        真空計 VACTEST

        真空ポンプメーカーの作る真空計:高機能、高信頼、高効率

        ●高機能 最先端技術の組合せによる広い測定範囲(1600 – 5・10-10 hPa (mbar)) ●信頼性 高い信頼性、堅牢性、耐衝撃性 ●効率性 モジュラー設計、プラグアンドプレイのセ…

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