傷・異物・チップ・クラックの欠陥自動検査機です。搬送時間を含め１枚30秒の高速検査が可能なうえ、コンパクト・省電力設計で経済的です。
検査装置 「ウエハエッジ外観検査機」
傷・異物・クラックなどの欠陥の検査に。エッジの精細画像検査を実現
検査装置「ウエハエッジ外観検査機」は、ウエハ外周の端面と上下の３面を同時に 高速光学画像検査により傷・異物・クラックなどの欠陥を検査します。（８”ウエハで検査時間６秒と高速です）ウエハを裏面吸着して…
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