ウェットプロセス関連装置
露光・現像周辺のウェットプロセス関連装置のご紹介です。
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タッチパネル制御によりレシピ操作ができる減圧乾燥装置です
「VD-400」は減圧チャンバーで、レジスト塗布後のガラス基板を 減圧乾燥する装置です。 【特長】 ・タッチパネル制御による操作の簡易化 ・レシピ操作有り（操作手順の再現化が可能） ・２…
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コンパクトな自動搬送式の現像装置です。
自動搬送式現像装置「ACT-300A2S」は、最大6インチの基板を回転させながらスプレー現像を行う装置です。 現像液2系統、リンス１系統とエアーナイフを装備しタッチパネルよりレシピ設定操作を行い、最…
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- 表示件数
- 45件
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