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ローコスト・コンパクト・低騒音・省電力
コンパクト：小型で縦置きタイプ。狭い卓上でも設置可能です。 ローコスト：従来品と比較し、約25%のコストダウンを実現。 低騒音：発熱が少ないため、冷却ファン不使用で非常に低騒音。 省電力：従来品…
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ボルト締めランジュバン振動子（BLT）駆動用のコントロールユニット
本器をピエゾドライバーに接続するだけで、BLTを共振駆動させる事が簡単に行えます。更に、駆動中に共振周波数が変動しても、自動で共振周波数に追尾し、常に最大能力で駆動させる事が出来ます。
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超小型で高速応答を重視したピエゾアクチュエーターです。
積層圧電アクチュエーター「AEシリーズ」は、超小型で高速応答を重視したピエゾアクチュエーターです。圧電効果を利用して、電気的エネルギー（電圧）を変位や力などの機械的エネルギーに変換する製品です。自己共…
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多軸構成が可能なピエゾステージ
小型で多軸構成が可能な、1軸ピエゾステージで、X軸・Z軸をご用意しています。 複数の製品を組合せることでXYZ軸など多軸の構成もできます。変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラーと組合…
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3軸変位拡大機構を内蔵
透過窓（φ15）付きピエゾステージです。一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作を実現しておりメンテナンスは不要です。 ご用途に合わせた形状カスタマイズ等にも迅速に対応可能です。 詳しくはカタログを…
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積層ピエゾアクチュエーターを一体弾性ヒンジ機構に組込んだ製品です。
摩擦のない動作を実現しており真直性に優れます。 変位拡大機構により大きなストロークを発生します。ナノメーター高分解能動作とミリ秒高速応答を実現します。 詳しくはカタログをダウンロードしてください。…
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ミリ秒高速ステップ応答、高安定な位置決めが可能。各種対物レンズねじに対応。共焦点顕微鏡やオートフォーカス、微小段差測定に最適！
長ストロークレンジと高い剛性を高レベルで両立しており高速なステップ動作が可能です。 変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラーと組合せることで極めて高精度な位置決めができます。 「高安…
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対物レンズフォーカス用ピエゾ
顕微鏡のレボルバー・対物レンズ間に取り付け可能
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高速応答性を重視したピエゾステージです。
一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作で高精度に動作します。 変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラーと組合せることで極めて高精度な位置決めができます。ご用途に合わせた形状カスタマイズ…
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小型ながら3軸変位拡大機構を内蔵
変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラーと組合せることで高精度な位置決めができます。ご用途に合わせた形状カスタマイズ等にも迅速に対応可能です
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XY軸の薄型ピエゾステージです。
一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作を実現しており真直性に優れます。 詳しくはカタログをダウンロードしてください。
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XY軸・ロングストローク・薄型ピエゾステージ
薄型8ｍｍ 透過窓付
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小型で大変位・高分解能なピエゾステージです
小型軽量なためSEMに容易にセット可能なステッピングピエゾステージです。
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小型軽量なSEM用3軸ナノマニピュレーターです。
SEM用3軸ナノマニピュレーター「M-3917」は、小型軽量なためSEMに容易にセットできるSEM用3軸ナノマニピュレーターです。粗動モードと微動モードの両方をそなえております。詳しくはカタログをダウ…
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高精度位置分解能を備えたチルトステージです。
光学ミラーなどの精密角度制御にご使用になれます。 変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラーを組合せることで極めて高精度な位置決めができます。 詳しくはカタログをダウンロードしてくださ…
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光学ミラーの精密制御、レーザーシステム、スキャニング（走査）装置に最適！
ご用途に合わせたカスタマイズ等にも対応可能です。 その他詳細は、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
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1・2・3軸透過窓付きピエゾステージ
可動部中央に大型の透過窓があり光軸を導入できます
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1・2・3軸ロングストローク透過窓付きピエゾステージ MB-140シリーズがモデルチェンジ!
透過窓付ピエゾステージ 御用途に合わせた形状カスタマイズ等にも迅速に対応可能です。
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レーザー干渉計の高速レンズ位置決め、大口径ミラー位置決めに最適です。
変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラーと組合せることで 高精度な位置決めが可能です。 その他詳細はカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
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レーザー干渉計の高速レンズ位置決めや大口径ミラー位置決めに最適！
変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラーと組合せることで、 高精度な位置決めが可能です。 その他詳細はカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
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加工機用耐油ピエゾステージ
油のかかる場所でご使用になれます。
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ロングストロークを出力するピエゾアクチュエーターです。
一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作を実現しており真直性に優れています。ナノポジショニングや各種顕微鏡等に利用され、高性能を発揮します。変位センサー内蔵タイプは選べませんが外部に変位センサーを設置し…
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耐油構造で高速・高精度位置分解能。工作機械でのバイト精密位置制御やミリ秒 ワークの高速位置決めに最適！
精密加工機のバイト精密位置決めなど、油のかかる場所でご使用になれます。 変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラーと組合せることで、 極めて高精度な位置決めが可能です。 その他詳細は…
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対物レンズフォーカス用ピエゾ
対物レンズを光軸方向に移動させることでフォーカス調整することができます。
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光学ミラーの精密制御、レーザーシステム、スキャニング（走査）装置に最適です。
積層ピエゾアクチューエーターに予備圧縮力を与えて金属ケースに内蔵しています。 ・MPA-UAシリーズ 最大発生力850N ・MPA-UBシリーズ 最大発生力1700N ・MPA-UCシリーズ …
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各種機器への組込に特化したピエゾアクチュエータです。
低コスト 1軸ピエゾアクチュエータ
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本体固定や初期位置合わせがしやすい形
1軸ピエゾアクチュエータ
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摩擦レスガイドにより高精度・高安定
高速応答・高精度位置分解能
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ステッピングピエゾステージ（リニア）MST-TA1202XD
ステッピングピエゾステージ
リニアガイド機構によりブレ難い
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非接触での変位測定ができる静電容量型変位計のセンサプローブです。
高速応答や、周波数特性切り替えが可能、出力反転可能といった機能を持っています。超小型、低コストで装置組込に最適です。
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非接触での変位測定
超小型・低コスト チャンネル数 1ｃｈ 出力電圧 ±10V（調整レンジ±5V）
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ピエゾドライバ（オープンループ制御）
チャンネル数 1ｃｈ 出力電圧 ±150V 広帯域直流増幅器
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ピエゾドライバ オープンループ制御
チャンネル数 3ｃｈ
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最大チャンネル数 6ｃｈ
入力は2系統/チャンネル ・A入力：非反転入力（出力に対して） ・B入力：反転入力（出力に対して）
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直流増幅器
ピエゾドライバ オープンループ制御
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平均電流0.5A（ピーク電流1.5A）で大容量負荷や高速駆動に最適です
出力ON/OFF時、緩やかに所要の電圧まで出力します。これにより、ピエゾアクチュエーター等の負荷を保護します。拡張ユニットを搭載することで、クローズド制御も可能です。USBインターフェースを搭載する事…
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ピエゾコントローラ クローズドループ制御
静電容量センサー(C)、ひずみゲージセンサー(S)に対応 チャンネル数 1ｃｈ・3ｃｈ 出力電圧-50～150V
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制御回路・センサーアンプ、ピエゾドライバを一体化し、ステージと接続してクローズドループ制御がおこなえるピエゾコントローラ
チャンネル数 1ｃｈ・3ｃｈ OPEN/CLOSED フィードバック切り替え 出力電圧 -10V～+150V（BNCコネクタ）
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制御回路、センサーアンプ、ピエゾドライバを一体化 ステージと接続してクローズドループ制御が行えるピエゾコントローラ
チャンネル数 1ｃｈ 出力電圧 -10V～＋150V（BNCコネクタ）
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最大3軸の歪ゲージセンサーによるピエゾステージのフィードバック制御可能
当社標準ピエゾドライバーM-2629シリーズにM-5106 サーボユニットを搭載することで最大３軸の歪ゲージセンサーによるピエゾステージのフィードバック制御が可能です。さらに静電容量変位計M-2218…
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超微動制御機器の設計が容易に、かつ安価に実現できます。
機種（2501-1/2503)から ご要望にあう機種を選択することができ、低速（数10Hz以下）のステージ駆動から、高速大電流駆動まで、ほとんどのご要望にお応えできると存じます。チャンネル数、形状、そ…
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高出力増幅器
チャンネル数 1ｃｈ 出力電圧 0～+1000V オープンループ制御
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オープンループ制御 ローコスト
大容量のピエゾアクチュエーターを高速駆動可能 チャンネル数 1ｃｈ 出力電圧 ±300V
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超小型ピエゾドライバ 低価格
超小型ピエゾドライバ オープンループ制御
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大容量出力 オープンループ制御
チャンネル数 1ｃｈ 出力電圧 -1～150V
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メステックへのお問い合わせ
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