第38回 インターネプコン ジャパン/エレクトロニクス製造・実装展【HIWIN】

半導体製造装置向けのコンポーネントからサブシステムまで、トータルでご提供可能です

当社は機械要素部品からメカトロ製品まで幅広く開発・製造を手掛けています。 半導体産業・FPD産業に適した、ステンレス製リニアガイドウェイ「MGシリーズ」や ボールねじ「Super Sシリーズ」のほか、ウエハ搬送ロボット、 EFEM、ウエハアライナー、ナノレベルの超精密ステージなどもラインアップ。 コンポーネントからサブシステムまで、ワンストップでご提供し、 調達にかかわるコストや工数…

高精度＆高剛性！　2-12インチ対応のウエハ搬送ロボット【Eシリーズ】

自社製DDモーターを採用し、高精度＆高剛性が特長。 2-12インチウエハに対応。ギアなしで経年劣化が少ない設計、また部品点数も少ないためメンテナンス工数も軽減されます。 高性能とリーズナブルを両立するロボットは、ウエハ搬送にとどまらない、PCBやガラス基板搬送用途のカスタム対応のほか、ロボット自体の搬送軸も仕様に合わせてご提案します。

高速・高精度・高剛性・高効率、そして省スペースを実現！ 2-12インチ対応の【HIWINウエハアライナー】

ハイウィンウエハアライナー(HIWIN Pre – Aligner)のHPAシリーズは3軸制御の製品で、 HIWIN単軸ロボットモジュールを採用し、高速、高精度、高剛性、高効率および省スペースを実現できます。 内蔵式コントローラーの設計(オールインワン)で、外にコントローラー配置及び配線スペースが不要で、同スペックのものでは、容積は業界最小です。 インテリジェントな透光性レーザーセンサーを搭載…

8インチ、 12インチ製品の搬入出に対応した共用型ロードポート。

ハイウィン ウエハロードポート (HIWIN Load Port)のHLPシリーズは、8インチ、12インチ製品の搬入出に対応した共用型ロードポートで、8インチ、12インチのFOUP/FOSBにダイレクトに対応。 8インチオープンカセットと12インチメタルキャリアは、適用アダプターをオプションでご選択いただけます。

各種自動化タスクに。ハイウィンのDDモーター

HIWIN DDモーターは減速機構を必要としないダイレクトドライブ方式を採用。 モーターと荷重とをクロスローラーベアリングを介して高剛性で結合し、サーボドライバー制御により卓越した加速度と運動の安定性を実現。中空軸を通してケーブルおよび関連アクセサリーを繋げるため、自動化タスクなど幅広い用途があります。 ■バックラッシュなし ■中空軸 ■ギアの回転摩擦無し ■コンパクト ■メンテナ…

ステンレス鋼を使用しており、高湿度環境や耐食性が要求される環境での使用に最適。　※技術資料を進呈

高湿度環境や耐食性が要求される環境での使用に最適。 標準の炭素鋼のリニアガイドウェイと互換性があります。 ステンレス鋼に適用する型番は下記の通りです。 HGシリーズ：HGH15　HGH20　HGH25 EGシリーズ：EG15 QHシリーズ：QH15　QH20　QH25 QEシリーズ：QE15 MGシリーズ ○ 詳細はカタログをご覧になるか、お問合せください。