掲載開始日:2016-09-12 00:00:00.0
簡易洗浄ユニット発売のお知らせ
- 簡易洗浄ユニット
- ケミカルユニット
このたび、マスク洗浄を補助する、『簡易洗浄ユニット』をご用意いたしました。
簡易洗浄ユニットは、以下の「ケミカルユニット」、「スクラブユニット」、「ドライユニット」の3種類ございます。
・ケミカルユニット:マスク表面に付着したレジスト残渣や昇華物を推奨薬液にて溶解・剥離を行います。
・スクラブユニット:マスク表に付着したパーティクル等の汚れを推奨薬液と洗浄ブラシの併用でスクラブ洗浄を行います。
・ドライユニット:洗浄されたウエット状態のマスクを温水引上げにて乾燥を行います。
簡易洗浄ユニットは、お客様が既にご使用されている設備と併用して各ユニットのご選択ができます。
「加熱出来る薬液浸漬槽でレジストを溶解・剥離したい!」
「ブラシでスクラブ洗浄したい!」
「乾燥シミが気になるので乾燥だけがほしい!」
等々のご要望があれば、先ずはご相談ください。
組合せは自由に対応できます。
取扱会社
■半導体製造プロセス関連の洗浄装置 ■半導体製造プロセス関連の組み立て装置 ■FPD製造プロセス関連の洗浄装置 ■ダイサー周辺機器 ■上記製品の製造、販売、及び関連製品の開発、設計、製造と輸出、輸入業務。 【洗浄装置関連】 ・カセット・キャリア洗浄装置 ・フォトマスク洗浄装置 ・全自動マスク洗浄装置/マスク洗浄機 ・簡易洗浄ユニット ・紫外線オゾン洗浄装置 ・超純水用・エアー用加熱装置 【スーパークリーンヒーター】 ・超純水用加熱ヒーター ・クリーン加熱ヒーター ・簡易タイプ温度コントローラー 【後工程組立関連】 ・テープマウンター/ウェハーマウンター(ウエハーマウンター) ・ウェハーエキスパンダー/ウェハー拡張装置 ・UVフィルム硬化装置/紫外線フィルム硬化装置 ・グリップリング/ウェハー収納ケース ※日本全国および海外(台湾、中国、欧米)にも対応。 詳細は、お気軽にお問合せ下さい。
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