【2020年1月15日～17日】第34回ネプコンジャパン -エレクトロニクス開発・実装展-に出展いたします。

神港精機株式会社

開催地：東京都

神港精機株式会社は、東京ビッグサイトで開催されます
第34回ネプコンジャパン -エレクトロニクス開発・実装展-に出展いたします。

当社は、リニューアルした真空リフロー装置の実機を展示致します。
従来よりもパワーアップした装置を生でご体感頂けます。

他にも、SiC、GaNといった次世代デバイスにも対応したICPエッチング装置や、
次世代接合材に対応した還元雰囲気対応熱処理装置のパネル展示を予定しております。

皆様のご来場を心よりお待ちいたしております。

【出展製品】
■プラズマクリーニング装置「POEM」（プラズマクリーナー）
■インライン式真空半田付装置
■バッチ式真空半田付装置（フラックスレスリフロー　真空リフロー）

開催日時	2020年01月15日（水）～ 2020年01月17日（金） 10:00 ～ 18:00 最終日のみ17時まで
会場	■会場：東京ビッグサイト ■住所：東京都江東区有明3-11-1 ■アクセス　・りんかい線「国際展示場駅」より徒歩約7分　・ゆりかもめ「東京ビッグサイト駅」より徒歩約3分 ■小間番号：南展示棟　S8-15
参加費	無料 ※招待券をお持ちでない場合、入場料5,000円/人

プラズマクリーニング装置「POEM」（プラズマクリーナー）

プラズマクリーニング装置「POEM」（プラズマクリーナー）製品画像

　多機能型プラズマクリーニング装置。サンプルテスト受付中クリーニング・親水化対応、半田濡れ性向上、実装前処理に最適

半導体製造装置のチャンバをシンプル化・低コスト化しプラズマクリーニングに応用プラズマモード切替機構（ＲＩＥ，ＤＰ）とマルチガス（Ａｒ、Ｎ２，Ｏ２，Ｈ２）プロセスにより従来にない表面処理を実現。基板洗浄（酸化物・有機物除去・微細異物除去）親水性処理（メッキ前処理、半田濡れ性向上）撥水性処理（ウェット工程前処理）リフロー前処理に実績豊富　半田濡れ性向上効果大ハイエンド製品（高密…

バッチ式真空半田付装置（フラックスレスリフロー　真空リフロー）

バッチ式真空半田付装置（フラックスレスリフロー　真空リフロー）製品画像

パワーモジュールからウェハバンプまでフラックスレス・ボイドレスリフローを実現。新型登場でグレードＵＰ！　※サンプルテスト対応中

高信頼性半田付を実現するバッチ式真空半田付装置真空排気による低酸素雰囲気での高速・均一半田付。真空・常圧・各種雰囲気（還元・不活性）の組合せにより高いレベルのボイドレス半田付を実現。車載用高信頼性パワーモジュールの標準プロセスの基本型。処理量＆性能ＵＰの新型登場。新型機を工場に設置。装置見学およびサンプルテスト積極対応前処理のプラズマクリーニングも含めボイドレス・フラックスレス半田…

取扱会社

神港精機株式会社東京支店

●装置事業部（成膜装置）・スパッタリング装置・真空蒸着装置・硬質膜形成装置・プラズマCVD装置（プラズマ装置）・エッチング装置・アッシング装置・クリーニング装置（熱処理装置）・真空リフロー装置・プラズマリフロー装置・真空熱処理装置・アニール装置 ●規格品事業部・ドライポンプ・油回転真空ポンプ・水封式真空ポンプ・メカニカルブースタ・真空排気装置・真空計、真空弁、真空部品・精密投影機・特殊光学機器

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