掲載開始日：2020-01-28 00:00:00.0
UV-LED光源の露光装置（マスクアライナー）の販売を開始！
UV-LED光源の露光装置（マスクアライナー）の販売を開始しました。
光源波長：365nm（i線）
照度：0～80mW/cm2
照射径：φ160mm
ウェハサイズ：MAX2～6インチ
水銀フリーのUV-LED光源でランプの交換も不要！
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