ウエハーの製品一覧 （4ページ目）

【技術資料】6フッ化リン酸リチウムに含まれる微量陽イオンの測定

【IC：イオンクロマトグラフィー】二次電池(バッテリー)電解質に使われるLiPF6中微量陽イオンをイオンクロマトグラフで測定

イオンクロマトグラフィーにより、二次電池（蓄電池）の電解質として使われている6フッ化リン酸リチウム（LiPF6）に含まれる微量陽イオンの測定を行った結果をご紹介しております。 陽イオンの連続サプレッ…

メーカー・取扱い企業： メトロームジャパン株式会社 本社

【分析事例】セラミックス材料に含まれる微量金属の価数評価

ppmオーダーの微量金属も評価可能です

各種材料の特性を設計・制御するにあたって、母材に微量含まれている元素の種類や量、またそれらの存在状態を明らかにするのは非常に重要です。このうち元素の種類や量に関してはSIMS(二次イオン質量分析法)や…

メーカー・取扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】貼り合わせウエハ内部の空隙調査

超音波顕微鏡による内部空隙の観察事例

パワーデバイスやMEMSデバイスなどに用いられる、貼り合わせシリコンウエハを作成する際、貼り合わせ工程において界面に局所的に空隙が発生する事があります。 300mm貼り合わせウエハ内部を超音波顕微鏡…

メーカー・取扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】ラマンマッピングによる応力評価

試料断面における応力分布を確認することが可能です

単結晶Siのラマンスペクトルのピークは、試料に圧縮応力が働いている場合は高波数シフト、引張応力が働いている場合は低波数シフトします。これにより、Siの応力に関する知見を得ることができます。 IGBT…

メーカー・取扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】AFMデータ集

AFM :原子間力顕微鏡法

AFMは微細な探針で試料表面を走査し、ナノスケールの凹凸形状を三次元的に計測する手法です。 金属・半導体・酸化物などの材料評価だけでなく、毛髪やコンタクトレンズなどのソフトマテリアルまで幅広い材料を…

メーカー・取扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

高性能のまま低価格を実現！『単結晶育成引上工程用ロードセル』

【ＣＺ法単結晶育成装置用】種付けから回転引上げ、インゴット完成まで重量制御が可能

単結晶育成時の初期工程と自動直径制御(ADC)に使用される高性能ロードセルです。 回転しながら成長する単結晶の重量を正確に安定した電気出力に変換します。 チョクラルスキー(CZ)法による引上げ装…

メーカー・取扱い企業： 株式会社テンサー センサーシステム事業部

【分析事例】溶液中の金属量調査

純水やウエハ洗浄液等、様々な溶液の高感度分析が可能です

ウエハ洗浄工程で使用した洗浄液中の金属量や、装置や建屋に併設された配管内を通る純水中の金属量など、ICP-MSは溶液中の金属量を高感度に分析することができます。また、溶液の種類も純水・酸・アルカリ等、…

メーカー・取扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

高出力 グリーン パルス固体レーザー

高繰り返し高出力 短パルス グリーンパルスレーザー

産業用 微細加工用レーザー (Advanced Optowave Corp.社製)は、電子部品や半導体製造用途向けに多くの生産現場で使用されています。多くは24/7で運用されており、高い信頼性能を評価…

メーカー・取扱い企業： サンインスツルメント株式会社 本社

平面フィルム研磨　

各種平面部分の平面仕上げ・平坦化・突起物除去

当社では、「高精度」「環境」をコンセプトとして、各種のフィルム研磨装置を開発し、日本国内、世界にも提供してきました。お客様に合わせた様々なフィルム研磨機をご提供しています。 弊社、平面研磨装置は…

メーカー・取扱い企業： 株式会社サンシン

平面研磨装置

各種平面部分の平面仕上げ・平坦化・突起物除去

当社では、「高精度」「環境」をコンセプトとして、各種のフィルム研磨装置を開発し、日本国内、世界にも提供してきました。お客様に合わせた様々なフィルム研磨機をご提供しています。 弊社、平面研磨装置は…

メーカー・取扱い企業： 株式会社サンシン

ノンドレン冷却システム「固体冷却システム」

対象物の温度に合わせて霧の質と量をコントロール！濡らさず冷却する冷却システム

株式会社いけうちの「固体冷却システム」は、 ドライフォグ（超微霧）やセミドライフォグ（微霧）など 10～30マイクロメートルの霧を使い対象物を濡らさずに冷却します。 噴霧する霧は非常に微細…

メーカー・取扱い企業： 株式会社いけうち

ウェハー搬送システム『プロトスキャリア』

半導体ウェハーをコンパクトに梱包。薄ウェハーも安全に搬送可能。ANSI／ESD S541 規格対応

ウェハーケース／ウェハー容器『プロトスキャリア』は、半導体ウェハーを安全かつ効率的に搬送できる製品です。 当社が培ってきたウェハー搬送のノウハウを基にデザインした梱包容器、 低パーティクル・低…

メーカー・取扱い企業： アキレス株式会社 工業資材販売部

マクロ検査用スポット照明 MSPA-10WA/MSPA-10DA

【デモ機貸出OK】透明・半透明な化合物半導体ウェハ検査や非透明シリコンウエハ面上の欠陥検査、光学レンズの傷検査に適した照明です。

スタンドとシャフトの組合せにより、フレキシブルなライティングを実現します。 標準搭載のズームレンズで検査条件に合わせた照射エリアでの目視検査が可能です。 ■透明・半透明な化合物半導体やウェハや…

メーカー・取扱い企業： ハヤシレピック株式会社 第1事業部

バッチ（引き出し）式　UVオゾン洗浄改質装置【オゾン分解触媒付】

コンパクト設計の卓上式UV（紫外線）オゾン洗浄改質装置『CUVDシリーズ』シリコーンウェハー、半導体部品等の有機汚染物質除去に

プラスチック部品に限らず様々な素材の密着性向上が期待できます。 どこでも使えるAC100V仕様！コンパクト設計の紫外線洗浄改質装置『CUVD50U-05』☐150～350まで3タイプの製作が可能。 …

メーカー・取扱い企業： コスモ技研株式会社

テスト用ダミーウェハー

研究・開発用、装置テスト・評価用ウェーハ、シリコン（結晶）の加工、販売。

研究用窓材、X線干渉計、光学系などに使用する結晶加工、厚み３５μm～5ｍｍ、ウェハー、長方形板など、 国内外研究機関、大学研究室に取引実績がございます。 ダイシング、溝加工、石英板、ウェハ…

メーカー・取扱い企業： SE TECH INTERNATIONAL合同会社 本社