高密着性　低温ＰＶＤコーティングツール・テック東北

基本情報高密着性　低温ＰＶＤコーティング

安定した密着性！
ＰＢＳ（プラズマブースタースパッタリング）プロセス
クロムメッキ代替ドライコーティング

■□■特徴■□■

■低温処理で安定した密着性
・２５０℃以下の低温処理が可能なため、ＳＣＭ浸炭鋼やＳＫＳ、
　ＳＵＪ等にも、母材硬度低下を最低限に抑えて処理可能
・安定して優れた密着力を得られる
■高精度コーティングが可能
・半導体プロセスで実績のあるスパッタリング技術をベースとして、
　大型ターゲットを使用しているため膜厚精度、再現性も優れている
・公差の厳しい精密部品・精密金型にも適用可能
■ドロップレットがなく表面が平滑
・アークＩＰのようなドロップレットがないため、
　表面粗さの小さい均一な平滑表面が得られる
・摺動部品、精密金型で相手材への攻撃性が低く、
　良好なトライボロジーが得られる

■詳細は、お問い合わせ下さい。

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用途／実績例	■□■用途■□■ ■リードフレーム金型　はんだめっきされた半導体リードフレームの曲げ加工 ■ゴム成型金型　エラストマー成形・Ｏリング成形・オイルシール成形金型への処理 ■プラスチック成型金型　ＰＥＴ樹脂・コネクタ部品などのガラス繊維入りＰＰＳ樹脂成形　射出成形機スクリューヘッド部品など