ファーストゲート株式会社 イオン注入装置ディスク再生サービス
- 最終更新日:2010-12-06 14:40:41.0
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イオン注入装置ディスク再生サービス
イオン注入装置のエンドステーションディスクは長時間にわたるイオン照射により、ウエーハへのパーティクル付着、元素レベルの汚染、エラストマーの経時変化による冷却能力の低下やウエーハ脱着の不具合といった、問題が生じます。
定期的なディスク再生を行うことにより、装置の稼働率、製品の歩留向上につながります。
基本情報イオン注入装置ディスク再生サービス
Core社は、15年以上にわたり世界各国のイオン注入装置用ディスク再生の実績を持ち、自社工場にイオン注入装置を19台保有し、イオン注入サービスも手掛けるイオン注入No.1企業です。
イオン注入装置を知り尽くした企業だからこそ、最適なディスク再生を低コストでご提供します。各種装置に対応しておりますので、お問合せ下さい。
価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
型番・ブランド名 | イオン注入装置ディスク再生サービス |
用途/実績例 | 高電流イオン注入装置 高エネルギー注入装置 |
取扱企業イオン注入装置ディスク再生サービス
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