ファーストゲート株式会社本社、大阪オフィス、笹目倉庫

ドライアウト全自動ポリッシュ装置『6EZ』

Revasum社の枚葉処理装置！SiC基板とデバイスの歩留まり向上を提供します

『6EZ』はSiC基板とデバイスの歩留まり向上を提供できる ドライアウト全自動ポリッシュ装置です。 Revasum社の7AF-HMGグラインダー装置と6ZEポリッシュ装置を同時に 使用するこ…

インラインケミカルヒータ

正確な温度コントロール、多様な薬液に対応し長寿命。

TIHシリーズ： 多種多様なアプリケーションに対応。接液面をフッ素樹脂にすることで、強酸、強アルカリ及びオゾン水など多用途で使用可能なヒータ。

テフロン製小流量ベローズポンプ

手のひらに乗るサイズの小型のベローズポンプで接液部は全てフッ素樹脂（PTFE/PFA)を使用し高純度薬液の移送にも使用可能です。

White Knight社が開発した低価格且つ小型のベローズポンプで、接液部にＯ-リングを使用しておらずコンタミ等の発生の心配がありません。また、ボディシール部にはWhite Knight社独自のシー…

マニュアル型透明基盤検査装置

ニーズにお応えする基板異物検査装置

「マニュアル型透明基盤検査装置」はYGK（山梨技術工房）製の、ワーク設置 マニュアル形式ガラス基板表面検査装置／サファイア表面検査装置です。 小型、安価でありシリコンウエハ、ガラス基板の異物測…

薬液・超純水用ポンプ『ベローズポンプ』

高温薬液での高流量出力も可能な薬液・超純水用ポンプ

『ベローズポンプ』は、White Knight社製のテフロン製薬液供給ポンプです。 「小型、100%ノンメタル、高温時の高吐出量、メンテナンスフリー」などの 特長を活かして、US市場において5…

精密流量コントロールバルブ

酸、有機系薬液などの定量吐出管理用の液体フローコントローラー

「精密流量コントロールバルブ」は、高精度、高速で流量制御を行う酸・有機系 薬液などの定量吐出管理用のFuturestar社製液体フローコントローラーです。 流路部品は全てテフロン樹脂製ですので…

フローコントローラー

全ての薬液、高純度のアプリケーションの流体制御に最適な設計です

Malema社製の『フローコントローラー』は、高純度薬液用のため接液部が オールテフロン製です。 制御・モニター製品をはじめ各種半導体製造装置の標準部品として世界各国で 使用されています。 …

自動搬送型透明基盤検査装置

高精度な表裏分離を可能にした基盤検査装置

『自動搬送型透明基盤検査装置』は、YGK（山梨技術工房）のガラス基板 表面検査装置／サファイア表面検査装置です。 透明ガラス基板専用機にして、各種裏面梨地基板にも対応しています。 センサ…

イオン注入装置　ディスク再生サービス

高品質なディスク再生を低価格にてご提供するサービス

『イオン注入装置　ディスク再生サービス』は、バリアン、SEN、AMATすべての バッチ式インプラディスクのフル再生、ヒートシンク再生ディスク修理、 Finger、Restraint等の部品販売も承…

ファーストゲート株式会社　総合カタログ

輸入商社として半導体製造装置における技術革新を迅速に提供する

『ファーストゲート株式会社　総合カタログ』は、半導体製造装置、検査装置の 輸出入販売、技術サポートなどを行っている、ファーストゲート株式会社の 総合カタログです。 当カタログでは、半導体製造部品「テ…

フローコントローラー

全ての薬液、高純度のアプリケーションの流体制御に、最適に設計されております。

Malema社製のフローコントローラーは、高純度薬液用に接液部をオールテフロン製で、制御・モニター製品をはじめ各種半導体製造装置の標準部品として世界各国で使用されています。 また、今まで流量のモニタ…

ファーストゲート株式会社　会社概要

半導体製造装置の商社として、No.1、Only oneの製品を提供し続けます。

ファーストゲートは、果てしない進化を続けるエレクトロニクス業界、半導体業界において、常に革新となりうる夢のような装置と技術を提供していく会社でありたいと考えます。 ファーストゲートという社名は、『ど…

イオン注入装置ディスク再生サービス

イオン注入装置ディスク再生サービス

イオン注入装置のエンドステーションディスクは長時間にわたるイオン照射により、ウエーハへのパーティクル付着、元素レベルの汚染、エラストマーの経時変化による冷却能力の低下やウエーハ脱着の不具合といった、問…

【200℃までの高温流体対応】フッ素樹脂製フローメータのご紹介

酸、有機系供給の流量制御用。200℃までの高温対応オールフッ素樹脂製フローメータです！

Futurestar社製フローメーターは200℃までの高温流体対応オールフッ素樹脂製フローメーターです。 洗浄装置、薬液供給装置などの酸、有機系供給の流量制御、表示に使用されております。　昨今、要求…

精密流量コントロールバルブ

酸、有機系薬液などの定量吐出管理用の液体フローコントローラーです。高精度、高速で流量制御を行います。

流路部品は全てテフロン樹脂製ですので幅広い耐薬液性を有しています。用途により、流量計タイプをカルマン渦流量計と超音波流量計の2種類よりご選択頂けます。また、液体流量コントローラー単体でも販売しておりま…

テフロン製ベローズポンプ

使用温度、薬液、流用に応じ様々なアプリケーションに適したポンプを提供致します。

White Knight 社製テフロン製薬液供給ポンプは、「小型、100%ノンメタル、高温時の高吐出量、メンテナンスフリー」などの特長を活かして、US市場において50%以上のシェアを持ち、各種半導体製…