薬液・超純水用ポンプ『ベローズポンプ』ファーストゲート

高温薬液での高流量出力も可能な薬液・超純水用ポンプ

『ベローズポンプ』は、White Knight社製のテフロン製薬液供給ポンプです。

「小型、100%ノンメタル、高温時の高吐出量、メンテナンスフリー」などの
特長を活かして、US市場において50%以上のシェアを持っており、
各種半導体製造装置の標準部品として広く使用されております。

使用温度、薬液、流量に応じてお客様のアプリケーションに最適なポンプを
提供致します。

【特長】
■低脈動
■210℃まで対応可能
■テフロン製ポンプ
■金属、O-リング等一切使用していない
■コンタミ等の発生の心配がない　など

※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。

関連リンク - http://www.fastgate.co.jp/compo/index.html#yakueki

基本情報薬液・超純水用ポンプ『ベローズポンプ』

【ラインアップ】
■PXUシリーズ
■PXHシリーズ
■PXAシリーズ
■PSUシリーズ
■PSHシリーズ
■PSAシリーズ
■PSRシリーズ
■PFUシリーズ
■PFHシリーズ
■PFAシリーズ

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用途／実績例	【用途】 ■洗浄装置、薬液供給装置、CMP装置などあらゆる分野でのスラリー ■酸、有機系の供給 ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。