自動搬送型透明基盤検査装置ファーストゲート

高精度な表裏分離を可能にした基盤検査装置

『自動搬送型透明基盤検査装置』は、YGK（山梨技術工房）のガラス基板
表面検査装置／サファイア表面検査装置です。

透明ガラス基板専用機にして、各種裏面梨地基板にも対応しています。

センサ自動焦点機構で、高精度な表裏分離を可能にしています。

対応基板サイズは、最大200mm×200mmです。
200mm以上をご希望の場合は、ご相談下さい。

【特長】
■自動搬送
■高精度な表裏分離
■高性能

※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。

関連リンク - http://www.fastgate.co.jp/kensa/index.html

基本情報自動搬送型透明基盤検査装置

【仕様】
■対応基板サイズ：最大200mm×200mm(200mm以上の場合要相談)
■スキャン方式：X-Yスキャン／Θ-Xスキャン(螺旋スキャン)
■スループット：□200mmを約4分／Φ200mmを約3分(高速スキャン対応可)
■ワーク設置：搬送ロボット(裏面吸着／エッジクランプ)
■装置外形寸法：W1,800mm×D1,230mm×H2,151mm
■本体重量：約1,000kg
■消費電力：約1.5kW(100V)
■検査対象基板：石英ガラス基板、サファイア基板、SiC基板、
エビ膜付きSiC基板等
■最小検出感度：石英ガラス基板時、0.2μm

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