マニュアル型透明基盤検査装置ファーストゲート

ニーズにお応えする基板異物検査装置

「マニュアル型透明基盤検査装置」はYGK（山梨技術工房）製の、ワーク設置
マニュアル形式ガラス基板表面検査装置／サファイア表面検査装置です。

小型、安価でありシリコンウエハ、ガラス基板の異物測定が可能で、これまで
難しかったガラス基板の表裏分離測定やSiC表面の潜傷の検出を可能にしました。

また、お客様のシリコンウェハ／ガラス基板等、製品サンプル及び製品を
お預りし、YPIシリーズでサンプル測定も実施しております。

【特長】
■従来にない高速、高精度、低価格
■省スペース
■測定時間短縮　など

※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。

関連リンク - http://www.fastgate.co.jp/kensa/

基本情報マニュアル型透明基盤検査装置

【仕様】
■対応基板サイズ：最大200mm×200mm(200mm以上の場合は要相談)
■スキャン方式：X-Yスキャン／Θ-Xスキャン(螺旋スキャン)
■スループット：□200mmを約4分／Φ200mmを約3分(高速スキャン対応可)
■ワーク設置：マニュアル
■装置外形寸法：W900mm×D1,000mm×H1,757mm
■本体重量：約500kg
■消費電力：約1.5kW(100V)
■検査対象基板：石英ガラス基板、サファイア基板、SiC基板、エビ膜付きSiC基板等
■最小検出感度：石英ガラス基板時、0.2μm

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