様々なご要望にお答えいたします。
半導体製造装置やフラットパネルディスプレイ、太陽電池等のエレクトロニクス製品や光学部品や、装飾品等など、薄膜の製膜に用いられるスパッタなど、真空中でのプラズマの制御に磁場が持ちられます。
磁場の強度、発生位置、磁場方向、磁場勾配など様々なパラメータを管理し所望の効果を得るために、永久磁石が用いられます。
これらの特性を引き出すため、当社の解析、設計、製造、測定がお役に立ちます。
基本情報提案事例 既存イオン源製品の性能改善
【事例】
○お客様からのご要望…真空用装置に用いる、イオン源の既存品の性能改善を行いたい。
○東和製作所からのご提案…食目標とする磁気仕様が明確ではないため、まずは磁気特性の検査を実施しました。
検査結果より、強力な磁界を発生できるように製品設計を見直すため、お客様装置内に納まる範囲で最大の磁界を発生させるよう効率の良い磁気回路を解析を含めご提案させていただき、製作をさせていただきました。強力な磁場を発生させる磁気回路の組立は、多くのノウハウを必要とします。このため設計段階で製造を見越すことにより、特性を最大限引き出すことができます。
○このようなケース以外にも様々なご要望にお答えいたします。
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用途/実績例 | 既存イオン源製品の性能改善 |
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