テクノライズ株式会社 精密片面ラッピングポリッシング装置 TR15S
- 最終更新日:2011-01-25 22:20:39.0
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磁気ヘッド、YAG、レーザー等の高精度加工を必要とする超精密研磨に最適です。
磁気ヘッド、YAG、レーザー等の高精度加工を必要とする超精密研磨に最適です。プレート面の振れや摺動抵抗等の精度を追求することにより、加工対象物に無理な力をかけずに安定した加工レートを得られ、且つ加工中のスクラッチ発生を除去しています。
また、フェーシング機構・循環式水冷機構の採用により、プレートの平坦度を常に管理・維持ができます。
加えて、オシレーション機構・強制ドライブ機構の採用によりさまざまな高精度を要求する分野に対応したラッピング装置です。
基本情報精密片面ラッピングポリッシング装置 TR15S
【特徴】
○シリコン、サファイア、GaN、SiC等各種ウェーハの鏡面加工
○真空チャック面の平坦化加工
○オプチカルフラット等測定基準器の平行平面加工
○SUS・銅等金属系の鏡面加工
○ピーク材やアクリル等樹脂系の鏡面加工
○セラミックス等の精密部品鏡面加工
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