テクノライズ株式会社 純水スピン洗浄乾燥機 TCL300SPW
- 最終更新日:2011-01-25 22:07:23.0
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開発・試作向けの装置や高い生産性と洗浄性を兼ねた「バッチ式」や「枚葉式」等の全自動洗浄装置まで貴社のニーズにお応えいたします。
半導体・2次半導体の部材や部品・金属部品等、弊社の技術ノウハウとテクノロジーを生かした洗浄方法(超音波、ブラシ、高圧ジェット、薬液、UV等)や乾燥方法をご提案いたします。
※ 微細なラインやホールの中の汚れが落ちにくく、乾燥もしづらい!!
※ ウォーターマークが出てしまう!!
※ 薬液を使用した洗浄方法が分らない!! Etc
基本情報純水スピン洗浄乾燥機 TCL300SPW
【特徴】
○シリコンウェハーや硝子基板の表裏面のほこり等を短時間で、洗浄から乾燥
○専用回転テーブルに加工対象物(ワーク)をセット
○回転させながら(MAX2000rpm)、ワークの表裏同時洗浄・乾燥
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カタログ純水スピン洗浄乾燥機 TCL300SPW
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