株式会社ハーモテック ロボット用エンドエフェクター対応 非接触 KUMADE Fork
- 最終更新日：2011-01-29 15:51:34.0
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ウエハー搬送・FPDパネル搬送のイノベーションサプライヤー
静電気帯及び剥離帯電の解消、搬送中にセンタリングを行い装置タクトタイムの低減。
基本情報ロボット用エンドエフェクター対応 非接触 KUMADE Fork
【特徴】
○ロボット用エンドエフェクターとして使用可能
○ウェーハカセットへのアクセスが可能
○ウェーハへのパーティクル転写の解消
○ウェーハ表面へのローディングアクセスが可能
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取扱企業ロボット用エンドエフェクター対応 非接触 KUMADE Fork
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オリジナル半導体製造機器の設計 半導体製造装置・各種省略化機器設計 オリジナル半導体製造機器の販売・修理
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