金属製トレーに配列された水晶デバイスの導電性接着剤を一定の温度曲線に制御されたクリーンなN2雰囲気内で加熱し、乾燥硬化する装置!
■水晶デバイス製造装置 クリーン硬化炉
・金属製トレーに配列された水晶デバイス(振動子、発振器、フィルターなど)の導電性接着剤を一定の温度曲線に制御されたクリーンなN2雰囲気内で 加熱し、乾燥硬化する装置です。
・ブランク搭載機とインライン接続が可能です。ローダはブランク搭載機から搬出された金属製トレーを受取り、炉内に搬送します。
・アンローダは炉から出てきた金属トレーを専用マガジンに収納します。
〈特長〉
・HEPAフィルターを介した熱風循環方式による安定した雰囲気加熱炉と、温度急勾配などに対応するヒータブロック式(トレー直接加熱)硬化炉
・熱風循環方式は、ベルトコンベア搬送方式とウォーキングビーム搬送方式選択可能!
・ヒータブロック式硬化炉は、ウォーキングビーム方式に対応!
・熱風循環式ウォーキングビーム硬化炉は、パーティクルの発生を最小限に抑え、よりクリーンな雰囲気での加熱が可能!
・ベルトコンベア式熱風循環炉は、生産能力が高く、硬化炉1台に対してブランクマウンターを最大4台まで連結可能!
・それぞれの加熱炉共に、N2雰囲気による加熱を行い、製品の酸化を防止!
基本情報水晶デバイス製造装置 クリーン硬化炉
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