株式会社ピー・ジェイベント用フィルター　ＦＢＡシリーズ

最終更新日：2012-06-20 10:04:38.0
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スループットが大幅に向上

半導体製造装置に使用される、(株)ピュアロンジャパン製ベント用フィルターです。ロードロック室(Load lock chamber) や搬送チャンバー(Transfer chamber)等において、真空破壊を行う際に発生してしまうパーティクルの巻上げや過渡的な乱流の発生は、ウェハーへのパーティクル付着やダメージを与える可能性があります。従来は窒素ガスをゆっくり導入するスローベントを行うことで同現象を防いでおりましたが、Pureronのベント用フィルターを使用することで、スループットが大幅に向上します。

基本情報ベント用フィルター　ＦＢＡシリーズ

【特徴】
○材質は全てSUS316Lで構成されています。
○最高使用温度は400℃です。
○濾過精度は0.003μmです。
○コップ型形状のため先端からガス噴射が可能です。
○特注品対応可能です。

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型番・ブランド名	ＦＢＡシリーズ
用途／実績例	半導体製造装置など