アイエムティー株式会社 半導体ウェーハ研磨機 ノッチ、ベベル、オリフラ研磨装置【日本製】
- 最終更新日:2022-03-02 16:29:36.0
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高品位研磨テープによる低Raの実現
Siウェーハ、化合物ウェーハのベベル、ノッチ、オリフラに対応したフルスペックのテープ式精密研磨装置です。
基本情報半導体ウェーハ研磨機 ノッチ、ベベル、オリフラ研磨装置【日本製】
【特徴】
●様々なプロセスに対応
●膜質を選ばない研磨が可能
●スラリー負荷の軽減
●100%ケミカルフリー
●クラス1000対応
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型番・ブランド名 | NME-8N |
用途/実績例 | 半導体ウェーハの研磨 |
取扱企業半導体ウェーハ研磨機 ノッチ、ベベル、オリフラ研磨装置【日本製】
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