ナノレベルの微細構造物を壊さずに乾燥できます！
超臨界処理は、ＭＥＭＳのような、ウエットエッチ等で加工された三次元構造が非常に微細・脆弱で、自然乾燥、IPA乾燥では液体界面に発生する表面張力によって変形、破壊される構造物を気中に取り出す工法です。
密閉されたチャンバー内でウエハ等をIPA等の液浸状態から超臨界CO2を注入し、IPA界面の表面張力がない状態のまま、IPAを排出してダメージレスで乾燥させます。
基本情報レクザム 超臨界流体CO2応用装置
【特徴】
○表面長禄が発生しないため、微細構造へのダメージが無くウォーターマークが皆無
○液状では入らない微細孔にも入ることが可能
○高エネルギーで油分の融解が可能
●その他詳細についてはカタログをご覧頂くか、お問い合わせ下さい
| 価格情報 | お気軽にお問い合わせください |
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| 価格帯 | 1000万円 ~ 5000万円 |
| 納期 |
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| 用途／実績例 | ●詳細についてはカタログをご覧頂くか、お問い合わせ下さい |
カタログレクザム 超臨界流体CO2応用装置
取扱企業レクザム 超臨界流体CO2応用装置
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○エレクトロニクス応用製品 ○自動車部品 ○精密機械加工品 ○スキー・スノーボードブーツ ○ビールの開発・設計・製造・販売
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