超臨界流体CO2応用装置　製品カタログ

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基本情報超臨界流体CO2応用装置　製品カタログ

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物質固有の温度・圧力を超えると、気体と液体の中間的性質の「超臨界流体｣と呼ばれる高密度状態となる

レクザム　超臨界流体CO2応用装置

超臨界処理は、ＭＥＭＳのような、ウエットエッチ等で加工された三次元構造が非常に微細・脆弱で、自然乾燥、IPA乾燥では液体界面に発生する表面張力によって変形、破壊される構造物を気中に取り出す工法です。

密閉されたチャンバー内でウエハ等をIPA等の液浸状態から超臨界CO2を注入し、IPA界面の表面張力がない状態のまま、IPAを排出してダメージレスで乾燥させます。（詳細を見る）

取扱会社超臨界流体CO2応用装置　製品カタログ

株式会社レクザム香川工場

○エレクトロニクス応用製品 ○自動車部品 ○精密機械加工品 ○スキー・スノーボードブーツ ○ビールの開発・設計・製造・販売

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